品質・歩留まり管理システム（YMS）メーカー3社
品質・歩留まり管理システム（YMS）は、検査・計測・テストの結果を横断的に集約し、歩留まり低下の原因を統計的に突き止めるソフトウェアです。ウェハ上の不良分布マップ、工程ごとの計測値、最終テストの合否データを紐づけ、どの工程のどの装置を通ったロットで不良が増えているかをコモナリティ解析で特定します。SPCによる工程能力の監視、装置間差の検出、機械学習を用いた欠陥分類などを備え、原因究明までの時間を短縮することが導入価値になります。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
半導体製造プロセスの歩留まり向上・データ解析・プロセス制御ソフトウェアを提供する専業企業。Exensio®プラットフォームでFab全体のデータを統合し、AI活用による予知保全・歩留まり管理を実現する。
- •Exensioプラットフォームによるファブデータ統合
- •AI/機械学習を活用した歩留まり解析
世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。
- •世界最大の半導体製造装置サプライヤー
- •成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオ
世界最大のEDA（電子設計自動化）ソフトウェア企業。論理合成・配置配線・物理検証・TCAD・IPライセンスを提供し、チップ設計の全工程をカバー。
- •EDAソフトウェアで世界最大シェア（Cadenceと2強）
- •TCADによるプロセス・デバイスシミュレーション
関連カテゴリ
AMHS（Automated Material Handling System）は、半導体ファブ内でFOUP（前開き統合ポッド）などにウェハを格納したまま、天井走行台車（OHT）・無人搬送車（AGV）・コンベアなどで自動搬送するシステムです。
メーカー 2 社装置管理システム（EES）装置管理システム（EES）は、製造装置から収集したセンサデータをもとに、装置の状態を監視し異常を早期に検知するソフトウェアです。
メーカー 2 社生産管理システム（MES）生産管理システム（MES）は、ファブ内のロットがどの工程にあり、次にどの装置へ流れるべきかを管理する製造実行システムです。
メーカー 2 社装置インターフェース（SECS/GEM）装置インターフェース（SECS/GEM）は、製造装置とホストコンピュータが会話するための通信規格と、それを実装するソフトウェア・ハードウェアです。
メーカー 2 社ストッカーストッカーは、半導体製造ラインにおいてFOUP（ウェハキャリア）を一時的に自動保管・管理する無人自動倉庫システムです。
メーカー 2 社オリフラ・ノッチ合わせ機オリフラ・ノッチ合わせ機（ウェハアライナー）は、ウェハ外周のノッチやオリエンテーションフラットを検出し、結晶方位を基準とした所定の角度へ回転させて位置決めする装置です。
メーカー 2 社ウェハマーキング・ID読取装置ウェハマーキング・ID読取装置は、ウェハ1枚ごとに固有の識別子を刻印し、工程内でそれを読み取る装置です。
メーカー 2 社ウェハソーターウェハソーターは、複数のキャリア間でウェハを並べ替え・移し替える装置です。
メーカー 3 社ウェハ搬送装置ウェハ搬送装置は、半導体製造ラインの各プロセス装置内・装置間でウェハを自動搬送するロボット・ハンドラー・コンベアシステムの総称です。
メーカー 10 社