電子工業用薬液（高純度薬品）メーカー6社
電子工業用薬液は、洗浄・エッチング・表面処理に使う高純度の酸・アルカリ・過酸化水素の総称です。硫酸・フッ酸・塩酸・アンモニア水・過酸化水素といった一般的な化学品ですが、半導体グレードでは金属不純物をppt級まで下げ、パーティクル数も粒径ごとに規格化されています。RCA洗浄のSC-1・SC-2、酸化膜除去のDHF、レジスト除去のSPMなど、混合比と温度によって役割が変わるのが特徴で、薬液そのものより「どう混ぜてどう使うか」が工程技術になります。
主要特徴
スペック比較
このページの製品は種類が異なります。まず種類で絞り込み、同じ種類の製品どうしを比較してください。
| 種類 | メーカー | 製品 | 主要用途 |
|---|---|---|---|
| フッ化水素酸 | ステラケミファ | 超高純度フッ化水素酸（UP／SUP グレード） | 酸化膜エッチング・自然酸化膜除去 |
| 過酸化水素水 | 三菱ガス化学 | 高純度過酸化水素水 | SC-1／SC-2 洗浄・SPM・レジスト剥離 |
| 酸・アルカリ・溶剤 | 関東化学（Kanto Chemical） | EL グレード 硫酸・アンモニア水・IPA | ウェット洗浄・乾燥（IPA 置換） |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
超高純度フッ化水素酸（UP／SUP グレード）
ステラケミファの主力。酸化膜のウェットエッチングと洗浄に使うフッ化水素酸で、超高純度グレードでは世界シェア首位級。
| 薬液 | フッ化水素酸（HF） |
| グレード | UP／SUP（超高純度） |
| 濃度 | 50%・希釈グレード（DHF） |
| 管理指標 | 金属不純物（ppt オーダー）・パーティクル |
| 主要用途 | 酸化膜エッチング・自然酸化膜除去 |
高純度過酸化水素水
SC-1／SC-2 洗浄や硫酸過水（SPM）に使う酸化剤。分解しやすいため、安定剤と容器・輸送管理が品質を決める。
| 薬液 | 過酸化水素水（H₂O₂） |
| 濃度 | 30 ～ 35 wt% |
| 管理指標 | 金属不純物・分解安定性・全有機炭素 |
| 主要用途 | SC-1／SC-2 洗浄・SPM・レジスト剥離 |
| 供給形態 | ドラム・コンテナ・バルク |
EL グレード 硫酸・アンモニア水・IPA
洗浄工程の主役になる酸・アルカリ・溶剤を電子工業用グレードで揃える。同じ薬品でも不純物レベルで用途が分かれる。
| 対象薬液 | H₂SO₄・NH₄OH・HCl・IPA・アセトン |
| グレード | EL（電子工業用）グレード |
| 管理指標 | 金属不純物・パーティクル・水分 |
| 主要用途 | ウェット洗浄・乾燥（IPA 置換） |
| 供給形態 | ボトル・ドラム・バルク供給 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
6社の主要メーカー
超高純度試薬・プロセス化学品の専業メーカー。半導体ウェハ洗浄薬液（SPM・SC1・SC2・DHF等）・CMP薬液・フォトレジスト剥離液を高純度で供給。電子グレード薬液で日本の半導体製造の基盤を支える老舗企業。
- •電子工業用高純度薬品で業界標準の品質
- •洗浄・エッチング・CMP全工程の薬品ラインナップ
フッ素化学を専門とする半導体材料メーカー。超高純度フッ化水素酸（HF）・フッ化アンモニウムなどの半導体ウェーハ洗浄・エッチング薬液で世界トップシェアを持つ。
- •超高純度フッ化水素酸（HF）で世界首位。韓国・台湾・中国への輸出が主力
- •Li電池電解質（LiPF6）でも世界トップシェアを持つフッ素専業企業
総合化学メーカー。半導体材料分野ではフォトレジスト（ArF・EUV）・偏光フィルム・有機EL材料で世界的存在感を持つ。特にEUVレジスト開発で日本材料メーカーとして重要な役割を担う。
- •ArF液浸・EUV向けフォトレジスト（化学増幅型CAR）の技術開発力
- •光酸発生剤（PAG）・レジストポリマーの高純度合成技術
多結晶シリコン（ポリシリコン）・電子工業用シリカ・高純度HClガスの日本有数のサプライヤー。半導体・太陽電池製造に不可欠なポリシリコンの世界上位メーカーであり、日本国内の一貫生産体制を持つ。
- •ポリシリコン生産量で世界上位（年産数千トン）
- •電子工業用シリカで高い市場シェア
半導体用過酸化水素水・特殊化学品を手掛ける国内化学メーカー。洗浄工程で使われる高純度薬液を中心に、半導体材料事業を展開する。
- •高純度薬液で国内大手
- •洗浄工程向け化学品に強み
金・銀・白金族金属（プラチナ・ルテニウム・イリジウム・パラジウム）の精製・加工・リサイクルの日本最大手。半導体向けではボンディングワイヤ（金線・銅線）・スパッタリングターゲット・触媒材料を供給。
- •ボンディングワイヤ（金・銀・銅線）で世界トップクラス
- •白金族金属の精製・リサイクル技術