封裝設備(Packaging Equipment)是在保護半導體晶粒不受外部環境影響的同時,進行電氣連接與組裝的「後段製程(Back-End)」中所使用之設備的總稱。用於切割(分割)→黏晶(搭載至基板)→打線接合或覆晶(電氣連接)→封膠(封裝)→測試→打印標記這一連串步驟。
主要的封裝設備類別包括:(1)切割設備:將晶圓分割成晶粒的切割機(刀片切割)、雷射切割、DBG(Die Before Grind:先切割後研磨)設備(迪思科、東京精密為主要廠商)。(2)黏晶機:將晶粒黏著於基板或導線架(ASMPT・Besi)。(3)打線機:以金、銅、鋁細線連接晶粒與基板(ASMPT 全球市占約50%)。(4)封膠設備:以環氧樹脂封裝晶粒(TOWA・Besi)。
先進封裝用設備方面,(1)混合鍵合機(Cu-Cu 直接接合)(2)Fan-out WLP 用薄膜沉積・曝光設備(3)TSV 形成設備(深蝕刻・ALD・Cu 填充)(4)晶圓研削・薄化設備(迪思科・岡本工作機械)(5)晶圓接合設備(EV Group・SUSS MicroTec)等的重要性正快速提升。
封裝過去被視為「低附加價值的後段製程」,但隨著小晶片、3D IC、Fan-out WLP、HBM 封裝等先進封裝的興起,技術門檻大幅提高,重新被評價為左右半導體產業競爭力的核心技術。台積電以 CoWoS 與 SoIC、英特爾以 Foveros、三星則在 HBM 製造上,皆對先進封裝投入大量資金。
封裝設備的主要廠商有 ASMPT(ASM Pacific Technology:產品廣泛涵蓋黏晶機、打線機、SMT 設備,為全球最大的後段製程設備廠商)、迪思科(切割・研削:全球市占最大)、Besi(黏晶機・封膠)、TOWA(封膠)、東京精密(切割・針測機)、EV Group・SUSS MicroTec(晶圓接合)等。