FPA-6300ES6a 是佳能的高產能 KrF 掃描式曝光機。以新型光罩載台與晶圓載台加快曝光處理，並透過改良對準流程、縮短晶圓傳送時間等方式，實現每小時 300 片以上（套用選配時，300mm・96 shot）的高產能。
藉由抑制載台振動的制振技術、載台同步控制技術、改良的對準鏡，以及對晶圓載台與光罩載台區域的精密溫度管理，實現 KrF 掃描式曝光機中業界最高水準的 5nm 以下疊對精度（套用選配時）。
強化耐用性與維護性，比前代機型減少停機時間，進一步提高稼動率。解析力 90nm 以下，NA 0.86～0.50 自動可變，縮小倍率 1:4，曝光區域 26 × 33mm，對應 200mm 與 300mm 晶圓。