FPA-6300ESW 是佳能的大視野高產能 KrF 掃描式曝光機。將投影倍率從 1:4 改為 1:3.125，在維持 6 吋光罩尺寸的情況下實現大視野化。
由於可一次曝光 33mm × 42.2mm，即使是全片幅 CMOS 影像感測器，也不需要連接 2 個以上曝光區域的拼接（stitching）即可曝光，是全球唯一的 KrF 掃描式曝光機。
全面沿用已有實績的 FPA-6300ES6a 平台，實現同等的稼動率與可靠度。解析力 130nm 以下，NA 0.45～0.70 自動可變，疊對精度 9nm 以下，對應 300mm 晶圓。