GT2000 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）的高精度電子束量測系統（CD-SEM），為因應 High-NA EUV 世代元件開發與量產的需求而開發。CD-SEM 是以電子束觀察圖案，並以奈米以下精度量測線寬等尺寸的設備。
在 High-NA EUV 製程中，光阻變得更薄，電子束造成的損傷（收縮）成為問題。GT2000 具備 100V 的超低加速電壓條件與超高速多點量測功能，能在抑制對光阻影響的同時增加量測點。
針對 3D 元件結構搭載高靈敏度的背向散射電子偵測系統，並以新平台與電子光學系統將機台間的量測值差異降至極小。由於量產時多台設備回傳相同數值非常重要，這種機台間匹配是 CD-SEM 的重要性能指標。