Phoenix 是科林研發（Lam Research）用於 510 × 515mm 面板的全自動處理設備。為面向大量生產的全自動系統，也能處理薄玻璃。
可同時處理面板兩面，並以真空吸盤處理面板全面。電鍍與蝕刻的均勻性優異，也支援線上藥液補充與監控。
有直立式光阻處理的 Phoenix VRT、電解電鍍的 Phoenix ECD，以及清洗用的 Phoenix VCA。用於在凸塊、銅柱、焊墊、RDL、TGV 上電鍍 Cu・Ni・SnAg・Au 等，以及金屬蝕刻。
Phoenix的特點與規格
科林研發（Lam Research）・晶圓級封裝
用於 510 × 515mm 面板的全自動直立式濕式處理・電鍍設備。有光阻處理・電鍍・清洗等機型。
產品概要
主要規格
| 適用基板 | 510 × 515 mm 面板（支援薄玻璃） |
|---|---|
| 產品線 | Phoenix VRT（光阻處理）・ECD（電鍍）・VCA（清洗） |
| 主要用途 | 面板上的凸塊・RDL・TGV 電鍍 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
510 × 515mm 面板的全自動處理
雙面同時處理
VRT・ECD・VCA 產品線
主要用途
- 面板級封裝的電鍍
- 玻璃面板的 TGV
製造商與在台據點
在台據點
- 新竹據點（新竹）：1996 年成立的台灣技術訓練中心
- Lam Research Manufacturing（桃園市中壢區）：2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
- 台南據點（台南）：支援南部客戶的辦公室與訓練教室
所屬設備分類
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