Triton的特點與規格

Triton 是科林研發（Lam Research）用於單晶圓電鍍與濕式處理的模組化平台。最適合研究開發，也能擴展至量產。由於可在 1 台設備上進行酸與溶劑的處理，能以最小的空間完成各種製程。

以專利的高速電鍍技術，實現微細導線電鍍所需的優異均勻性與良率。可在同一平台上處理從 3 吋到 300mm 的晶圓、以及 300 × 300mm 面板等不同尺寸的基板。

可進行終點監控、支援線上藥液補充與監控，並可依製程與工廠設計設備配置。用於在凸塊、銅柱、焊墊、RDL、TSV 上電鍍 Cu・Ni・SnAg・Au 等，以及去除電鍍層、蝕刻金屬・UBM・氧化膜。有 Triton CX 與 Triton CM 兩種機型。