NSR-S220D 是尼康針對 300mm 晶圓的 KrF 掃描式曝光機。採用大幅提高生產力與精度的 Streamlign Platform，實現每小時 230 片以上的產能，以及 6nm 以下的設備間疊對精度（MMO）。
具擴充性的 Streamlign Platform，有助於跨多個世代的先進元件穩定量產，並降低持有成本（CoO）。
具備以高精度編碼器從正上方量測載台的 Bird's Eye Control、以直線 AF 與 5 眼 FIA 加快對焦與對準的 Stream Alignment，以及縮短裝機與維護時間的 Modular2 Structure。解析度 110nm 以下，NA 0.82，縮小倍率 1:4，最大曝光範圍 26 × 33mm。