NSR-S333F 是尼康的 ArF（乾式）掃描式曝光機。在既有 ArF 掃描式曝光機的光學系統上，結合最高階 ArF 浸潤式掃描式曝光機 NSR-S636E 的平台，提高生產力與疊對精度。可對應邏輯、記憶體、影像感測器等多種元件的微細圖案製造。
提高晶圓載台與光罩載台的速度，實現每小時 300 片以上（300mm・96 shot）的產能，運轉也更加穩定，生產力提高為前代機型 NSR-S322F 的約 1.5 倍。
承襲 NSR-S322F 已有實績的光學系統，提升晶圓對準量測、光罩載台量測與自動對焦的性能，實現 ArF 掃描式曝光機中業界最高水準（截至 2025 年 9 月，尼康調查）的 MMO 4nm 以下疊對精度。具備以編碼器從正上方量測載台的 Bird's Eye Control、以直線 AF 與 5 眼 FIA 構成的 Stream Alignment，以及以單元為單位模組化的 Modular2 Structure。