PrimaScan P的特點與規格

PrimaScan P 是 Onto Innovation 針對玻璃面板基板的全面缺陷・汙染檢測設備，也具備影像擷取功能。

隨著面板級封裝（PLP）從銅箔基板（CCL）轉向玻璃，必須確認起始基板沒有致命缺陷或汙染，也沒有會在後段製程造成良率下降或報廢的潛在缺陷。

專為先進 IC 載板（AICS）與扇出型面板級製程（FOPLP）兩個領域的進料玻璃面板品質管理而設計。以獨家的雷射掃描與影像擷取，無論研發或量產都能確實檢測 nm 尺寸的缺陷。