ギガフォトン
半導体露光用エキシマレーザー光源の大手メーカー。ArF・KrFレーザーでASML・ニコン・キヤノンの露光装置に光源を供給。小松製作所と旭硝子（AGC）の合弁会社。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiの露光装置カテゴリでは、ArF・KrFエキシマレーザー光源をASML・ニコン等の露光装置メーカーに供給する二大光源サプライヤーの一角として参照されます。
企業の強み
ArF（193nm）・KrFエキシマレーザー光源で世界シェア上位
Cymer（Applied Materials傘下）と並ぶ二大光源メーカーの一角
高繰り返し・高出力・長寿命レーザー技術で露光装置の安定稼働を支援
主要製品・ソリューション
エキシマレーザー
- •ArFレーザー（GT63A）
- •KrFレーザー（GT55K）
- •ArF液浸対応レーザー
ギガフォトンの製品
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半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ギガフォトンを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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