TELINDY PLUS

東京エレクトロンの300mmウェーハ対応バッチ式熱処理装置。酸化・拡散から成膜まで縦型炉で一括処理する主力プラットフォーム。

TELINDY PLUSとは

TELINDY PLUS は、東京エレクトロン（TEL）の 300mm ウェーハ対応バッチ式熱処理装置です。TELINDY シリーズは累計1万台を超える実績を持ち、クリーンルーム面積あたりの生産性の高さを特長としています。

最大ロードは 125 枚、プロセス温度は室温〜1,100°C です。対応アプリケーションは ALD（SiO₂・SiN・High-k）、CVD（Poly-Si・a-Si・SiO₂・SiN）、酸化・ラジカル酸化、アニールと幅広く、ウェーハ搬送機構の改良、FTPS ヒーター、2ボート運用による短 TAT で生産性を高めています。

同じプラットフォームにプラズマ源を載せた TELINDY PLUS IRad は、プラズマダメージのない極低温 ALD（SiN・SiO₂）向けの派生機です。一度に 200 枚を処理でき CO₂ 排出を約25%減らした EVAROS、高速昇降温の TELFORMULA もシリーズに並びます。

主な特長

•最大 125 枚のバッチ処理、プロセス温度 RT〜1,100°C
•ALD・CVD・酸化・アニールを1プラットフォームでカバー
•2ボート運用・FTPS ヒーターによる短 TAT
•TELINDY シリーズ累計1万台超の実績

主な仕様

方式	バッチ式（縦型炉）
対応ウェハ径	300 mm
最大ロード	125 枚
プロセス温度	RT ～ 1,100 °C
シリーズ構成	TELINDY PLUS／TELINDY PLUS IRad（プラズマALD）／EVAROS
関連機種	TELFORMULA・ALPHA-8SE i
主要用途	酸化・拡散・バッチ成膜

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	Kokusai Electric（国際電気）QUIXACE-II	東京エレクトロン（TEL）TELINDY PLUS	ASMインターナショナルSONORA
方式	縦型大バッチ	バッチ式（縦型炉）	—
生産性	従来機比最大 1.25 倍のロット処理	—	前世代機 A412 比最大 30% 向上（レシピ互換）
関連機種	AdvancedAce-II・VERTEX Revolution（200 mm）	TELFORMULA・ALPHA-8SE i	—
主要用途	酸化膜・CVD膜の形成	酸化・拡散・バッチ成膜	—
対応ウェハ径	—	300 mm	300 mm

1機種だけが掲載している項目（7件）

対応プロセス	酸化・拡散・アニール（低温／高温）	—	—
最大ロード	—	125 枚	—
プロセス温度	—	RT ～ 1,100 °C	—
シリーズ構成	—	TELINDY PLUS／TELINDY PLUS IRad（プラズマALD）／EVAROS	—
バッチ処理枚数	—	—	最大 150 枚
常圧プロセス	—	—	拡散・不純物活性化・アニール・酸化
減圧プロセス	—	—	LPCVD（Poly-Si・SiN・SiO）／バッチALD