NSR-S635E

インライン・アライメント・ステーション（iAS）を統合したニコンの ArF 液浸スキャナー。Streamlign プラットフォームで高い生産性を得る。

NSR-S635Eとは

NSR-S635E は、ニコンの ArF 液浸スキャナーです。最先端の半導体を大量生産するために開発され、インライン・アライメント・ステーション（iAS）を統合しています。

光源は波長 193nm の ArF エキシマレーザー、開口数は 1.35、縮小率は 1:4、最大露光フィールドは 26×33mm です。解像度は 38nm 以下です。

Streamlign プラットフォームの効率を生かし、MMO（ミックス・アンド・マッチ・オーバーレイ）2.1nm 以下の重ね合わせ精度と、96 ショットで毎時 275 枚以上のスループットを両立しています。ニコンのラインアップには後継の NSR-S636E（毎時 280 枚以上）もあります。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ASMLTWINSCAN NXT:2100i	ニコン（Nikon）NSR-S635E	キヤノン（Canon）FPA-3030EX6
光源	ArF 液浸（193 nm）	ArF 液浸（193 nm）	KrF（248 nm）
重ね合わせ精度	単体機 0.9 nm・機間 1.3 nm（前機種比 10%／13% 改善）	MMO 2.1 nm 以下	25 nm 以下
対応ウェハ径	300 mm	—	100／125／150／200 mm（選択）
開口数（NA）	—	1.35	0.65 ～ 0.50（自動可変）
解像度	—	38 nm 以下	150 nm 以下
スループット	—	275 枚／時以上（96 ショット）	121 枚／時以上

1機種だけが掲載している項目（3件）

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。