ZI-3600（パターン付きウェーハ外観検査装置）
分解能の異なる 3 種類のレンズを同時に搭載し、1µm 以下の微細欠陥からマクロ欠陥まで検査する外観検査装置。
ZI-3600とは
ZI-3600 は、SCREEN のパターン付きウェーハ外観検査装置です。分解能の異なる 3 種類のレンズを搭載し、高い分解能と高い生産性を両立しました。
独自開発の検査ヘッドと高速画像処理エンジンの改良で、従来モデル ZI-3500 の約 2 倍の処理能力を実現しました。ラインセンサによる全面検査方式のため、チップのサイズや数によらず一定の速度で検査できます。
新しい対物レンズで 1µm 以下の微細な欠陥の検出や不良解析ができます。3 種類のレンズを自動で切り替えながら、微細欠陥からマクロ欠陥まで 1 台で検査します。実際のウェーハ画像を見ながら検査条件を設定でき、オプションで CD 測定やオーバーレイ測定も検査と同時に行えます。
主な特長
- •3 種類のレンズを同時搭載
- •1µm 以下の微細欠陥を検出
- •スループット約 2 倍
- •CD・オーバーレイ測定（オプション）
主な仕様
| 方式 | ラインセンサによる全面検査 |
|---|---|
| スループット | 従来機（ZI-3500）比約 2 倍 |
| オプション | CD 測定・オーバーレイ測定 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLACIRCL™ | Onto InnovationNSX® 330 | Onto InnovationF30™ | Onto InnovationEB40™ | SCREENホールディングスZI-3600（パターン付きウェーハ外観検査装置） | SCREENホールディングスZI-2000（パターン付きウェーハ外観検査装置） | レーザーテックLX シリーズ | レーザーテックCIEL シリーズ | レーザーテックEZ300（ウェハエッジ形状測定装置） | ニコン（Nikon）AMI-5700 | ニコン（Nikon）OPTISTATION-3200 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 方式 | — | — | 5 対物レンズのターレット・明視野／暗視野／リング照明／IR レビュー | 明視野・暗視野のエッジ／裏面検査 | ラインセンサによる全面検査 | — | 多波長・全面高速撮像 | — | コンフォーカル光学系 | — | — |
| 構成 | 4 モジュールのクラスター（CIRCL5） | マクロ検査＋2D／3D 計測（オプション） | — | EB40（一体）・E40（エッジ）・B40（裏面） | — | — | 高分解能モデル・高スループットモデル | — | — | — | — |
| 主要用途 | 全面の欠陥監視・エッジプロファイル計測 | 先端パッケージのマイクロバンプ・RDL・TSV 検査 | — | — | — | — | — | — | ウェーハ外周部の歩留まり管理 | — | — |
| 検査範囲 | 表面・エッジ・裏面（全面） | 表面（100 ～ 330 mm ウェーハ） | — | — | — | — | — | — | — | — | — |
| 対応ウェハ径 | — | — | 100〜300 mm | — | — | 76〜200 mm | — | — | — | — | — |
| 機能 | — | — | — | — | — | — | — | 微小欠陥の特定・3D 測定 | 凹凸判定を含む自動欠陥分類・高解像度 3D 測定 | — | — |
1機種だけが掲載している項目（15件）
| 連携 | — | — | エッジ・裏面モジュール EB40 | — | — | — | — | — | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 範囲 | — | — | — | ベベル全体と裏面（Zone 1〜5） | — | — | — | — | — | — | — |
| スループット | — | — | — | — | 従来機（ZI-3500）比約 2 倍 | — | — | — | — | — | — |
| オプション | — | — | — | — | CD 測定・オーバーレイ測定 | — | — | — | — | — | — |
| 検査方式 | — | — | — | — | — | 比較検査（Die to Die・Cell to Cell） | — | — | — | — | — |
| 光学分解能 | — | — | — | — | — | 1.5µm・4µm | — | — | — | — | — |
| 検査対象 | — | — | — | — | — | — | 膜厚・エッチング量・CD のばらつき | — | — | — | — |
| 対象 | — | — | — | — | — | — | — | ウェーハエッジ・ベベル | — | — | — |
| モード | — | — | — | — | — | — | — | 高スループットモードを搭載 | — | — | — |
| 適用ウェハ | — | — | — | — | — | — | — | — | — | SEMI 準拠 300mm ノッチウェハ | — |
| 検査スループット | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 毎時 180 枚以上（標準倍率時） | — |
| 計測（オプション） | — | — | — | — | — | — | — | — | — | CD・膜厚・フォーカス | — |
| ラインアップ | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | OPTISTATION-3200（前工程）／3100／3000（後工程） |
| ウェハサイズ | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 300mm・200mm（3100／3000 は兼用も可） |
| 顕微鏡 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 6 本の対物レンズ・明視野／暗視野 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •工程内の外観検査
- •不良解析
掲載カテゴリ
ZI-3600は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
SCREENホールディングス
半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。
マクロ検査装置のほかの製品
SCREENホールディングスのほかの製品
DT-3000（SOKUDO DUO）（コータ／デベロッパ）SU-3300（枚葉式洗浄装置）（ウェットエッチング装置）FC-3100（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）SU-3200（枚葉式洗浄装置）（ウェット洗浄装置）LA-3100（フラッシュランプアニール装置）（レーザーアニール装置）SU-3400（レジスト剥離装置（ウェット））スピンスクラバ SS-3200（ウェハスクラバ）WS-620C／WS-820C／WS-820L（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）FC-821L（ウェットステーション）（バッチ洗浄装置）CW-2000（コンパクトウェットステーション）（バッチ洗浄装置）SU-2000（枚葉式洗浄装置）（シングルウェハ洗浄装置）SP-2100（スピンプロセッサ）（ウェットエッチング装置）SS-3300S（スピンスクラバ）（ウェハスクラバ）SS-80EX（スピンスクラバ）（ウェハスクラバ）SB-3300（ウェーハ裏面洗浄装置）（ウェハスクラバ）RF-200EX／RF-300EX（コータ・デベロッパ）（コータ／デベロッパ）SK-60EX／SK-80EX（コータ・デベロッパ）（コータ／デベロッパ）SC-80EX（スプレーコータ）（コータ／デベロッパ）RE-3500（エリプソ式膜厚測定装置）（エリプソメータ）VM-2500／VM-3500（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）VM-1200／VM-1300（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）VM-1020（光干渉式膜厚測定装置）（膜厚計測装置）ZI-2000（パターン付きウェーハ外観検査装置）（マクロ検査装置）DW-3100（直接描画露光装置）（レーザー直接描画装置）DR-8000（自動線幅測定装置）（マスク寸法・平面度測定装置）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07