最後更新:2026年10月8日製造流程基礎記憶體半導體中國大陸:DRAM制造工艺

DRAM 製程是什麼

DRAM Manufacturing Process

DRAM 製程是將1電晶體+1電容的單元結構微縮化、高密度化的製造技術,主要技術課題為縮小單元尺寸並維持電容值。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

DRAM(Dynamic Random Access Memory)製程是將1電晶體+1電容的單元結構微縮化、高密度化的製造技術。DRAM廣泛用作系統主記憶體與HBM基礎晶粒,製程的主要技術課題是縮小單元尺寸並維持電容值。

SK海力士(HBM3E)、美光、三星引領最先進的DRAM製程。先進DRAM結合EUV曝光與高度的薄膜沉積、蝕刻技術製造。

DRAM由1電晶體+1電容(1T1C)的單元構成,將電荷儲存在電容中以記憶資訊。由於電荷會隨時間流失,需要定期讀出再寫回的刷新動作。隨著微縮,形成深溝槽或高深寬比的單元電容成為技術難關。

在先進DRAM中,於最微細的層導入EUV曝光,並以埋入式字元線、High-k電容介電膜等推進微縮。SK海力士、三星、美光3家占據市場,在AI需求帶動下,HBM用DRAM的生產持續擴大。

DRAM 製程的常見問題

什麼是DRAM製程?
製造大量整合1電晶體+1電容單元之DRAM的製程。DRAM以在電容中儲存電荷的方式記憶資料,是需要刷新的記憶體。
DRAM製造的難關在哪裡?
難關在於隨微縮而來的高深寬比單元電容形成,以及漏電流的抑制。先進產品會使用EUV曝光與埋入式字元線。
主要廠商有哪些?
SK海力士、三星、美光3家占全球市場大半。AI用HBM所需的DRAM需求正在擴大。

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