Producer XP Precision Draco 是應用材料用於 DRAM 的硬遮罩。資料中心等對低成本・大容量 DRAM 的需求增加,而儲存用電容的微縮已成為 DRAM 的一大障礙。
電容是直徑約 30nm 的極小結構,電容量與體積成正比。直徑變小時,為維持電容量必須把孔挖得更深(提高深寬比),但用於蝕刻深孔的高能離子也會削蝕硬遮罩。若孔尚未完成遮罩就已消失,元件便會成為不良品。
Draco 採用新材料,選擇比比傳統 DRAM 電容用硬遮罩提高 30% 以上,使高深寬比電容孔的形成成為可能。