最後更新:2026年10月23日TSV 形成設備

Endura Ventura PVD的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・TSV 形成設備

TSV 金屬化專用的 PVD。支援深寬比 10:1 以上的 TSV 與 2.5D 中介層。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Endura Ventura PVD 是應用材料 TSV(矽穿孔)金屬化專用的 PVD 設備。在 2 維微縮逐漸接近極限之際,將晶片或晶圓堆疊並在垂直方向連接的 TSV 已成為 3D 化的手段。

可將 2D 鑲嵌(damascene)導線的設備與技術延伸到深寬比 10:1 以上的 TSV 及 2.5D 中介層。是第一套在 TSV 上實現可量產鈦阻障層成膜的 PVD 系統。

一般導線用的 PVD 並未考慮高深寬比,為了無孔洞填充必須鍍上很厚的膜。Ventura 兼顧高沉積速率與連續的階梯覆蓋率,因應成本與可靠度的課題。

主要規格

方式PVD(TSV 專用)
對象深寬比 10:1 以上的 TSV・2.5D 中介層
特點首度在 TSV 上實現可用於量產的 Ti 阻障層成膜

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

TSV 專用的 PVD
深寬比 10:1 以上
量產用 Ti 阻障層

主要用途

  • TSV 的金屬化
  • 2.5D 中介層

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

所屬設備分類

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Endura Ventura