異物・污染分析設備是什麼

異物・污染分析設備是針對檢測設備發現的異物及晶圓表面污染，鑑定其元素組成與來源的一系列設備。以 SEM-EDX 分析個別微粒的元素，以 TXRF（全反射 X 射線螢光分析）高靈敏度地分析晶圓表面的金屬污染，以 ICP-MS 定量藥液或氣相回收液中的微量金屬。只要掌握異物的組成，就能縮小管路材料、零組件材質、藥液等污染源的候選範圍，因此可大幅縮短採取對策所需的時間。

重點整理

以 SEM-EDX 鑑定個別異物的元素組成
以 TXRF 高靈敏度定量晶圓表面的金屬污染
以 ICP-MS 定量藥液・回收液中的微量金屬
掌握組成後，即可縮小管路材料・零組件材質・藥液等污染源範圍

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