最後更新:2026年10月23日PECVD(電漿 CVD)

Producer Onyx的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・PECVD(電漿 CVD)

處理多孔 Low-k 介電膜以提高絕緣性與機械強度的薄膜處理設備。面向 22nm 以後的邏輯導線。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Producer Onyx 是應用材料的 Low-k 介電膜處理設備。隔絕銅導線的薄膜介電常數(k 值)隨著微縮,從 4.0(SiO₂)降到摻氟的 3.5、摻碳的 3.0,再到多孔化的 2.5。2X nm 世代需要 k≒2.2 的超 Low-k。

Low-k 膜在製作 10~12 層導線的過程中要經歷 150 道以上的製程,脆弱的多孔膜容易受損。Onyx 處理薄膜以提高導線的絕緣性,支撐 22nm 以後的邏輯微縮。

也能提高晶片的機械強度,因此可提升封裝良率。廠商也宣稱,改善導線絕緣可延長行動裝置的電池壽命。

主要規格

方式Low-k 膜的薄膜處理(Producer 平台)
對象多孔・超 Low-k 介電膜
效果改善絕緣性・提高機械強度

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

改善 Low-k 膜的絕緣性
提高機械強度、提升封裝良率
面向 22nm 以後的邏輯

主要用途

  • 銅導線的 Low-k 介電膜處理

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

所屬設備分類

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Producer Onyx