Producer Onyx 是應用材料的 Low-k 介電膜處理設備。隔絕銅導線的薄膜介電常數(k 值)隨著微縮,從 4.0(SiO₂)降到摻氟的 3.5、摻碳的 3.0,再到多孔化的 2.5。2X nm 世代需要 k≒2.2 的超 Low-k。
Low-k 膜在製作 10~12 層導線的過程中要經歷 150 道以上的製程,脆弱的多孔膜容易受損。Onyx 處理薄膜以提高導線的絕緣性,支撐 22nm 以後的邏輯微縮。
也能提高晶片的機械強度,因此可提升封裝良率。廠商也宣稱,改善導線絕緣可延長行動裝置的電池壽命。