Producer Precision APF PECVD 是應用材料沉積可剝除非晶碳系硬遮罩膜（APF）的 PECVD 系統。APF 是業界首款商用化的 PECVD 可灰化非晶碳膜，幾乎所有先進 DRAM・NAND・邏輯的量產據點都在使用。
APF 是支撐多重圖案化的薄膜之一，在將 ArF 曝光推進到超越物理極限的微縮，以及形成高深寬比圖案時不可或缺。隨著用途擴大，已從 1 種薄膜發展為多種專用薄膜的家族。
最新的 Stensar APF 低應力且缺陷極少，可滿足 2nm 邏輯的硬遮罩要求。選擇比高於旋塗膜，可讓膜堆疊變薄，有助於降低 LER・LWR。另有透明且高選擇比的 Saphira、可沉積更厚薄膜的 APFe 等。