Producer BLOk(Barrier Low-k)PECVD 是應用材料用於銅導線的 PECVD 設備。沉積鑲嵌導線所用、業界領先的超低介電常數銅阻障膜與蝕刻停止膜。
採 Twin Chamber 配置,對每片晶圓原位進行專利的銅氧化物去除處理後再沉積 BLOk,因此與銅或鈷的附著性佳,可抑制電遷移。
在大幅降低整個介電堆疊電容的同時,維持蝕刻選擇比與電氣特性。易於與 Low-k 膜 Black Diamond 搭配,讓 45nm 以後的世代轉換更順利。在 Producer 平台上可同時處理最多 6 片。