最後更新:2026年10月23日PECVD(電漿 CVD)

Producer Celera PECVD的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・PECVD(電漿 CVD)

可調整壓縮・拉伸應力、沉積高應力氮化矽膜的 PECVD 系統。用於先進節點的應變工程。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Producer Celera PECVD 是應用材料(Applied Materials)用於高應力氮化矽膜的 PECVD 系統。針對對電晶體通道施加應變以提高遷移率的應變工程,沉積可調整壓縮・拉伸應力的氮化膜。

將氮化膜沉積與 UV 固化整合在一起,在滿足低熱預算要求的同時,可得到最高 1.7GPa 的拉伸應力。若擴充 RF,同一腔體也能沉積最高 3.5GPa 壓縮應力的薄膜。

採用具量產實績的矽烷 CVD 技術,在取得 70% 階梯覆蓋率與低氫含量的高品質薄膜的同時,也維持作為蝕刻停止層的特性與圖案負載特性。平台為 Twin Chamber 配置的 Producer,設備可跨多個節點沿用。

主要規格

平台Applied Producer
適用膜種高應力氮化矽膜(壓縮/拉伸)
控制項目薄膜應力調整
主要用途先進節點的應變工程

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

拉伸最高 1.7GPa/壓縮最高 3.5GPa 的應力控制
氮化膜沉積與 UV 固化整合(低熱預算)
階梯覆蓋率 70%、低氫的高品質薄膜
Producer 平台(Twin Chamber)

主要用途

  • 先進邏輯的應變工程(應力襯層)
  • SiN 蝕刻停止層

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

所屬設備分類

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Producer Celera PECVD