最後更新:2026年10月23日PECVD(電漿 CVD)

Producer Black Diamond PECVD的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・PECVD(電漿 CVD)

降低導線 RC 延遲的 Low-k 介電膜 PECVD。最新版面向 2nm 以下,在降低 k 值的同時提高機械強度。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Producer Black Diamond 是應用材料的 Low-k(低介電常數)介電膜 PECVD 技術。Low-k 膜可降低導線的 RC 延遲以加快訊號、降低功耗,但介電常數越低,機械強度也越差。

強化版 Black Diamond 進一步降低最小 k 值,使 2nm 以下的微縮成為可能,同時提高邏輯與記憶體 3D 堆疊所需的機械強度。這種新的緻密 Low-k 膜 k 值可大範圍調整,可用於任何導線層。

前一代的 Black Diamond II 是唯一用於量產的奈米多孔 Low-k 膜(k≒2.55)。沉積有機矽酸鹽玻璃骨架與受熱分解的有機相,再以 UV 固化去除有機相使其成為多孔。在先進節點持續獲得邏輯與記憶體大廠採用。

主要規格

方式PECVD(Low-k 介電膜)
膜種緻密 Low-k(最新世代)・多孔 Low-k(Black Diamond II:k≒2.55)
對象世代2nm 以下

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

支援 2nm 以下的緻密 Low-k
k 值可大範圍調整
可承受 3D 堆疊的機械強度

主要用途

  • 導線層的層間介電層

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Black Diamond