Vertos 是 ASM International 新的 PECVD 製程。即使是最複雜的高深寬比結構，也能無空洞（void）、無接縫（seam）地填充，並在整片晶圓上自平坦化。這些都在 1 台 PECVD 系統中完成。
在填充、表面形貌控制與圖形保真度上具實績，以 1 個平台簡化整合。使次世代邏輯與記憶體的微縮成為可能。
支援邏輯與記憶體的廣泛用途，使偶極子（dipole）與功函數金屬圖形化的新方法成為可能。可用於從溝槽到微米級空腔的結構。是與 ASM International 在市場上首次推出的 PECVD 流動性碳膜技術相關的產品。