MAGICS M6750／M6751的特點與規格

MAGICS M6750／M6751 是 Lasertec 的空白光罩缺陷檢測・複檢設備，提升了光阻上缺陷的檢出靈敏度。

以空白光罩檢測業界標準機 MAGICS 的核心技術，即共軛焦光學系統的 63 道多光束掃描方式為基礎，搭載針對光阻上缺陷最佳化的高 S/N 缺陷檢測電路。由於能以高靈敏度找出光阻上的缺陷，可加快製程改善。

可檢測已塗布光阻的空白光罩、基板、Cr 膜、MoSi 膜與半色調膜。M6751 除了線距（line & space）圖案檢測外，也支援描繪・烘烤後潛像圖案上的異物檢測。