MAGICS M9650／M9651 是 Lasertec 的 EUV 光罩用空白光罩缺陷檢測・複檢設備，於 2018年11月發表。
兼顧有效檢測次世代高品質空白光罩所需的高檢出靈敏度，以及適合量產工廠出貨・進料檢測的高產能。以空白光罩檢測業界標準機 MAGICS 的核心技術為基礎，全面更新檢測光學系統，並採用在光罩圖案檢測設備上累積的高速檢測電路技術。
不僅是基板，也大幅提升最先進空白光罩各層的缺陷檢出靈敏度。支援範圍從空白光罩廠商用的多層晶舟盒，到光罩廠用的 RSP・MRP，以及 EUVL 用的 Dual Pod。M9651 支援線距（line & space）監控圖案檢測。