MAGICS M9750／M9751 是 Lasertec 的空白光罩缺陷檢測・複檢設備，是 2025年12月發表、面向次世代 EUV 光罩用空白光罩的設備。
兼顧檢測次世代半導體用高品質 EUV 空白光罩所需的高檢出靈敏度，以及適合量產工廠出貨・進料檢測的高產能。以業界標準機 MAGICS 的核心技術為基礎全面更新檢測光學系統，並採用在光罩圖案檢測設備上累積的高速檢測電路技術。
大幅提升基板與最先進空白光罩各層的缺陷檢出靈敏度，可篩選出高品質的空白光罩。可輸出 EUV 光罩製造時進行缺陷緩解所需的高精度缺陷座標。M9751 支援線距（line & space）監控圖案檢測，可用於光罩廠的製程管理。