MATRICS X712 系列是 Lasertec 面向成熟節點的光罩缺陷檢測設備，於 2026年3月發表。
搭載將設計資料與光罩圖案比對的 DDB（Die-to-Database）檢測、將同一光罩上晶片圖案互相比對的 DD（Die-to-Die）檢測，以及針對單一晶粒的 SD（Single Die）檢測等模式，可支援多種成熟製程節點。
以小占地面積與易於維護的設計支援穩定運轉。用於光罩製程中的異物檢測與品質確認檢測，以及晶圓廠的光罩進料檢測與定期品質確認檢測。
MATRICS X712 系列的特點與規格
Lasertec・光罩檢測設備
面向成熟節點的光罩缺陷檢測設備，具備 Die-to-Database・Die-to-Die・Single Die 檢測模式。
產品概要
主要規格
| 檢測模式 | DDB（Die-to-Database）・DD（Die-to-Die）・SD（Single Die） |
|---|---|
| 對象 | 成熟製程節點的光罩 |
| 發表 | 2026年3月 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
DDB／DD／SD 檢測模式
支援成熟節點
易於維護
主要用途
- 成熟節點的光罩檢測
製造商與在台據點
在台據點
- Lasertec Taiwan（新竹縣竹北市）：2010 年成立，負責銷售與技術支援