MATRICS X810EX 系列是 Lasertec 面向 DUV 光罩的缺陷檢測設備，兼具高靈敏度、高速與低持有成本。
以功率為以往 2 倍的高功率 213nm QCW 雷射（超過 400mW）進一步提升靈敏度，並透過缺陷檢測系統的高速化，在 38 分鐘內掃描 100mm × 100mm 的區域。
具備在光罩檢測的同時量測並視覺化光罩圖案尺寸分布（CD 均勻性）的功能。支援 RSP150・RSP200，可進行與 OHT 連動的全自動檢測。適用 Cr、MoSi、OMOG 的 6 吋光罩。
MATRICS X810EX 系列的特點與規格
Lasertec・光罩檢測設備
高靈敏度・高速・低 CoO 的 DUV 光罩缺陷檢測設備。100mm 見方區域只需 38 分鐘即可掃描完成。
產品概要
主要規格
| 光源 | 213nm QCW 雷射（超過 400mW・為以往的 2 倍） |
|---|---|
| 掃描時間 | 38 分鐘／100 × 100mm |
| 適用光罩 | Cr・MoSi・OMOG（6 吋） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
213nm QCW 雷射（為以往的 2 倍）
38 分鐘／100mm 見方
同步量測 CD 均勻性
主要用途
- 光罩的進料・出貨前檢測
製造商與在台據點
在台據點
- Lasertec Taiwan（新竹縣竹北市）：2010 年成立，負責銷售與技術支援