MATRICS X8ULTRA 系列是 Lasertec 的光罩檢測設備，同時支援未裝光罩保護膜的 EUV 光罩與 DUV 光罩。
以 45nm 像素尺寸、超過 400mW 的高功率 213nm QCW 雷射，以及 2 種偏光照明提升異物檢出性能。搭載光罩對光罩比對檢測（MtM），保存初始狀態光罩圖案的完整影像，並與曝光後的光罩圖案比對，以檢出光罩上的異物。
支援 EUV 光罩用的 Dual Pod，以及光罩用的 RSP150・RSP200，可進行與天車搬送（OHT）連動的全自動檢測。並將載台系統與電氣機櫃系統一體化，縮小占地面積。