MZ100的特點與規格

MZ100 是 Lasertec 的光罩邊緣檢測設備，於 2021年6月發表，支援先進半導體用的 EUV 與 DUV 光罩。

以共軛焦光學系統進行高靈敏度檢測與高精度量測。支援光罩邊緣部（側面與斜面），可檢測光罩中央 146 × 146mm 以外的所有區域。

用於邊緣部缺陷的檢測、缺陷複檢、缺陷尺寸與高度的量測，以及各種製程變動的監控。