PELMIS 系列的特點與規格

PELMIS 系列是 Lasertec 的 EUV 光罩保護膜異物檢測設備，於 2024年12月發表，能以高性能分類 EUV 光罩保護膜的缺陷。

針對附光罩保護膜的 EUV 光罩，檢測附著在保護膜面上的異物，並自動判別異物位於正面還是背面。

除保護膜面外，也支援光罩圖案面與圖案外圍部的異物檢測，並可進行晶粒比對檢測與光罩對光罩比對檢測。用於晶圓廠的 EUV 光罩保護膜與光罩圖案面檢測，以及光罩廠 EUV 光罩製程中的異物檢測。