ZETA™+（バッチスプレー式洗浄装置）

東京エレクトロンのバッチスプレー式洗浄装置。高温薬液処理の ViPR+ 技術で、レジストやシリサイドなどの膜を短時間で剥離する。

ZETA+とは

ZETA+ は、東京エレクトロンのバッチスプレー式洗浄装置です。レジストやシリサイドなどの膜の剥離と一般洗浄の両方に、効率よく柔軟に対応し、多数の出荷実績を持ちます。

高温での薬液処理を可能にした独自の ViPR+ 技術により、レジスト・シリサイド・その他の膜を短時間で剥離し、高性能・高生産性・低コストのプロセスを実現します。FEOL／BEOL のポストエッチ洗浄、RCA 洗浄、DHF ウェットエッチなどにも使えます。

300／200mm 対応の全自動機 ZETA+200/300 と、200／150mm 対応のセミオート機の2機種があります。全自動機はミニエンバイロメント機構を備えた FOUP／SMIF 対応で、密閉式のシングルチャンバーに最大 8 種類の薬液を供給でき、混合比・濃度・温度をレシピで設定できます。枚葉式洗浄装置に比べ経済性に優れます。

主な特長

•高温薬液処理の ViPR+ 技術による高速剥離
•密閉シングルチャンバー、最大 8 種類の薬液
•全自動（200／300mm）とセミオート（150／200mm）の2機種

主な仕様

対応ウェハ径	200／300 mm（Semi-auto は 150／200 mm）
方式	バッチスプレー式（密閉シングルチャンバー、薬液最大 8 種）
スループット	450 wph（200 mm）／230 wph（300 mm）
主要用途	レジスト・メタル剥離、ポストエッチ洗浄、RCA 洗浄、DHF エッチ

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	SCREENホールディングスFC-3100（ウェットステーション）	東京エレクトロン（TEL）ZETA™+（バッチスプレー式洗浄装置）
方式	バッチ式ウェットステーション	バッチスプレー式（密閉シングルチャンバー、薬液最大 8 種）
スループット	1,000 枚／時	450 wph（200 mm）／230 wph（300 mm）

1機種だけが掲載している項目（4件）

構成	7 つの独立モジュール（洗浄槽 2 槽で 1 モジュール）	—
主な技術	減圧乾燥システム HiLPD（高濃度 IPA）	—
対応ウェハ径	—	200／300 mm（Semi-auto は 150／200 mm）
主要用途	—	レジスト・メタル剥離、ポストエッチ洗浄、RCA 洗浄、DHF エッチ

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。