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CONFERENCE

表面真空学会学術講演会(日本表面真空学会 学術講演会)

日本表面真空学会が主催する、表面科学と真空技術を扱う会議。

01開催概要


正式名称
Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science
主催
日本表面真空学会
次回の会期
未発表(例年9月頃)
開催地
日本
例年の開催
9月頃・日本
分野
材料・物性
格付け
国内の学会日本の日本表面真空学会が主催する会議のため、国内の学会としています。格付けの決め方
公式サイト
pub.confit.atlas.jp(2026/10/24 確認)

02表面真空学会学術講演会はどんな学会か


表面真空学会学術講演会は、日本表面真空学会が主催する、表面科学と真空技術を扱う会議です。2026年は9月 郡山(ビッグパレットふくしま)。例年9月ごろに開かれます。

表面・界面の分析、薄膜、真空技術の研究が発表される日本表面真空学会の学術講演会です。

03注目の技術


表面真空学会学術講演会でよく発表される技術です。用語集で仕組みを確認できます。

  • XPS(X線光電子分光法)

    XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy:X線光電子分光法)とは、試料の表面にX線を当て、飛び出してくる電子(光電子)のエネルギーを測ることで、表面にどの元素があり、それがどのような化学状態(どの原子と結合しているか)にあるかを調べる分析方法です。

  • 原子間力顕微鏡(AFM)

    AFM(Atomic Force Microscopy:原子間力顕微鏡)は、先端を尖らせた微小な探針(プローブ)で試料表面をなぞり、探針と表面の間に働く原子間力を検出して、ナノメートル分解能の三次元的な凹凸(表面形状)を測定する装置です。

  • SIMS(二次イオン質量分析)

    SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry:二次イオン質量分析)は、一次イオンビームをウェハ表面に照射してスパッタし、叩き出された二次イオンを質量分析することで、元素組成や深さ方向の不純物濃度プロファイルを測定する分析手法です。

  • SEM(走査型電子顕微鏡)

    SEM(Scanning Electron Microscope/走査電子顕微鏡)は、電子ビームを試料表面に走査照射し、放出される二次電子・反射電子を検出することで試料表面の形状・組成を高分解能で観察・分析する電子顕微鏡です。

  • CVD

    CVD(Chemical Vapor Deposition/化学気相成長)は、原料となる化学物質(前駆体ガス)をチャンバー内に導入し、熱・プラズマ・光などのエネルギーで化学反応を起こすことでウェハ表面に薄膜を堆積させる成膜技術の総称です。

04同じ分野の学会

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※ 会期・締切は2026/10/24に公式サイトで確認した情報です。変更されることがあるため、投稿・参加の前には公式サイトで最新の情報を確認してください。