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CONFERENCE

プラズマ・核融合学会年会 2026(プラズマ・核融合学会 年会)

プラズマ・核融合学会が主催する、プラズマ科学と核融合を扱う会議。

01開催概要


正式名称
Annual Meeting of the Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research / プラズマ・核融合学会年会
主催
プラズマ・核融合学会
次回の会期
2026年12月8日〜12月11日(金)(開幕まであと41日)
開催地
北九州・北九州国際会議場
例年の開催
12月頃・日本
分野
リソグラフィ・配線・量産/材料・物性
格付け
国内の学会日本のプラズマ・核融合学会が主催する会議のため、国内の学会としています。格付けの決め方
公式サイト
www.jspf.or.jp(2026/10/24 確認)
会期をカレンダーに追加(.ics)

02プラズマ・核融合学会年会はどんな学会か


プラズマ・核融合学会年会は、プラズマ・核融合学会が主催する、プラズマ科学と核融合を扱う会議です。2026年は12月8日から12月11日まで、北九州で開かれます。会場は北九州国際会議場です。

核融合プラズマに加えて、半導体プロセスに使う低温プラズマの研究も発表される学会の年会です。

03注目の技術


プラズマ・核融合学会年会でよく発表される技術です。用語集で仕組みを確認できます。

  • プラズマ(半導体製造)

    プラズマ(Plasma)とは、気体が高エネルギー状態に達して電子と陽イオンに電離した「物質の第4の状態」であり、半導体製造においてエッチング・成膜・クリーニング・表面改質など多くの工程の基盤技術となっています。

  • プラズマエッチング

    プラズマエッチング(Plasma Etching)は、真空チャンバー内でプラズマを生成し、そのプラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)によってウェハ表面の材料を除去するエッチング手法の総称です。

  • ICP(誘導結合プラズマ)

    ICP(Inductively Coupled Plasma:誘導結合プラズマ)とは、コイル状のアンテナに高周波(RF)電力を印加することで磁場を誘導し、チャンバー内のガスを電離してプラズマを生成する方式です。

  • CCP(容量結合プラズマ)

    CCP(Capacitively Coupled Plasma:容量結合プラズマ)とは、平行平板状の上下2枚の電極間に高周波(RF)電力を印加し、電極間の電界でガスを電離してプラズマを生成する方式です。

04同じ分野の学会

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※ 会期・締切は2026/10/24に公式サイトで確認した情報です。変更されることがあるため、投稿・参加の前には公式サイトで最新の情報を確認してください。