ISPlasma（先進プラズマ科学と窒化物・ナノ材料への応用国際シンポジウム）

正式名称

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials

主催

ISPlasma・IC-PLANTS 実行委員会

次回の会期

未発表（例年3月頃）

開催地

名古屋

例年の開催

3月頃・日本（名古屋）

分野

リソグラフィ・配線・量産／材料・物性

格付け

専門の国際会議プラズマ科学と窒化物・ナノ材料への応用という特定のテーマに絞って開かれている国際会議のため、専門の国際会議としています。格付けの決め方

公式サイト

www.isplasma.jp（2026/10/24 確認）

• プラズマ（半導体製造）

  プラズマ（Plasma）とは、気体が高エネルギー状態に達して電子と陽イオンに電離した「物質の第4の状態」であり、半導体製造においてエッチング・成膜・クリーニング・表面改質など多くの工程の基盤技術となっています。

• プラズマエッチング

  プラズマエッチング（Plasma Etching）は、真空チャンバー内でプラズマを生成し、そのプラズマ中の活性種（ラジカル・イオン）によってウェハ表面の材料を除去するエッチング手法の総称です。

• ICP（誘導結合プラズマ）

  ICP（Inductively Coupled Plasma：誘導結合プラズマ）とは、コイル状のアンテナに高周波（RF）電力を印加することで磁場を誘導し、チャンバー内のガスを電離してプラズマを生成する方式です。

• CCP（容量結合プラズマ）

  CCP（Capacitively Coupled Plasma：容量結合プラズマ）とは、平行平板状の上下2枚の電極間に高周波（RF）電力を印加し、電極間の電界でガスを電離してプラズマを生成する方式です。

• SPIE先端リソグラフィ・パターニング（SPIE AL+P）2027年2月21日〜・サンノゼ（米国）
• 国際半導体製造シンポジウム（ISSM）2026年12月7日〜・東京
• 先端半導体製造会議（ASMC）2027年6月14日〜・オールバニ（米国）
• 原子層堆積国際会議・原子層エッチング国際ワークショップ（ALD/ALE）2027年6月20日〜・ドレスデン（ドイツ）
• 化合物半導体製造技術国際会議（CS MANTECH）2027年5月17日〜・サンデスティン（米国フロリダ州）
• 半導体物理国際会議（ICPS）例年8月頃
• 国際配線技術会議（IITC）例年6月頃
• 米国物理学会 Global Physics Summit（APS GPS）2027年4月11日〜・アトランタ（米国）
• 応用超伝導国際会議（ASC）例年9月頃
• AVS国際シンポジウム（AVS）2026年11月8日〜・ピッツバーグ（米国）
• 集積回路科学技術会議（CSTIC）2027年3月21日〜・上海（中国）
• 欧州材料学会 秋季大会（E-MRS Fall）2027年9月20日〜・ワルシャワ（ポーランド）
• 欧州材料学会 春季大会（E-MRS Spring）2027年5月17日〜・ストラスブール（フランス）
• 米国電気化学会 大会（ECS Meeting）2026年10月25日〜・カルガリー（カナダ）
• 電子・イオン・光子ビーム技術とナノ加工国際会議（EIPBN）2027年5月24日〜・スコッツデール（米国）
• 電子材料会議（EMC）例年6月頃
• 気体エレクトロニクス会議（GEC）2026年11月2日〜・シカゴ（米国）
• 半導体の欠陥国際会議（ICDS）2027年7月26日〜・グラスゴー（英国）
• 国際磁気学会議（ICM）2027年6月14日〜・サンフアン（プエルトリコ）
• 分子線エピタキシー国際会議（ICMBE）例年7月頃
• 金属コーティングと薄膜国際会議（ICMCTF）2027年4月25日〜・サンディエゴ（米国）
• IEEEナノテクノロジー国際会議（IEEE-NANO）2027年6月30日〜・メッシーナ（イタリア）
• 国際液晶会議（ILCC）例年6月頃
• IEEE国際磁気学会議（INTERMAG）2027年5月10日〜・済州（韓国）
• 国際電気化学会 年次大会（ISE Annual）2027年9月5日〜・グラスゴー（英国）
• 超伝導エレクトロニクス国際会議（ISEC）2027年10月24日〜・サンディエゴ（米国）
• 国際真空会議（IVC）例年9月頃
• MMM-INTERMAG 合同会議（Joint MMM-Intermag）例年1月頃
• 国際低温物理学会議（LT）例年8月頃
• 磁性と磁性材料会議（MMM）2026年11月2日〜・ホノルル（米国）
• マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議（MNC）2026年11月10日〜・福岡
• マイクロ・ナノエンジニアリング国際会議（MNE）例年9月頃
• Materials Research Meeting（MRM）2027年12月13日〜・神戸
• 米国材料学会 秋季大会（MRS Fall）例年12月頃
• 米国材料学会 春季大会（MRS Spring）例年4月頃
• 環太平洋国際化学会議（Pacifichem）例年12月頃
• フォトマスク・ジャパン（PMJ）2027年4月7日〜・横浜
• 環太平洋電気化学・固体科学会議（PRiME）2028年10月8日〜・ホノルル（米国）
• IEEE太陽光発電専門家会議（PVSC）2027年6月20日〜・パサデナ（米国）
• 太陽光発電国際会議（PVSEC）2026年11月15日〜・大田（韓国）
• 強相関電子系国際会議（SCES）例年9月頃
• SPIE DTCOと計算機パターニング（SPIE DTCO）2027年2月21日〜・サンノゼ（米国）
• SPIE 先端エッチングとプロセス統合（SPIE Etch）2027年2月21日〜・サンノゼ（米国）
• SPIE パターニング材料とプロセス（SPIE Materials）2027年2月21日〜・サンノゼ（米国）
• SPIE 計測・検査・プロセス制御（SPIE Metrology）2027年2月21日〜・サンノゼ（米国）
• SPIE 光・EUVナノリソグラフィ（SPIE Optical/EUV）2027年2月21日〜・サンノゼ（米国）
• SPIE フォトマスク技術＋EUVリソグラフィ（SPIE Photomask）例年9月頃
• TMS年次大会（TMS Annual）2027年3月14日〜・オーランド（米国）
• 原子制御表面・界面・ナノ構造国際会議（ACSIN）例年10月頃
• 先端メタライゼーション会議（ADMETA）例年10月頃
• Cat-CVD研究会（Cat-CVD研究会）例年6月頃
• 触媒討論会（触媒討論会）2027年3月18日〜・さいたま
• 中部化学関係学協会支部連合秋季大会（中化連）2026年10月31日〜・名古屋
• コロイドおよび界面化学討論会（コロイド討論会）2026年11月1日〜・名護（沖縄）
• 日本セラミックス協会 年会（セラミックス協会年会）2027年3月8日〜・京都
• CSJ化学フェスタ（CSJ化学フェスタ）例年10月頃
• 日本セラミックス協会 秋季シンポジウム（セラミックス協会秋季シンポジウム）2027年9月8日〜・長崎
• 日本化学会 春季年会（日本化学会春季年会）2027年3月23日〜・野田（千葉）
• 電気化学会 大会（電気化学会大会）2027年3月29日〜・神戸
• 有機・無機電子材料とナノテクノロジー国際シンポジウム（EM-NANO）2027年6月23日〜・上越（新潟）
• 電子材料シンポジウム（EMS）2027年10月13日〜・橿原（奈良）
• フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム（FNTG）例年9月頃
• 高圧討論会（高圧討論会）2026年11月18日〜・岐阜
• 半導体物理における強磁場国際会議（HMF）2026年11月2日〜・柏（千葉）
• ダイヤモンドと炭素材料国際会議（ICDCM）2027年8月29日〜・シッチェス（スペイン）
• ナノ分子エレクトロニクス国際会議（ICNME）例年12月頃
• 平坦化・CMP技術国際会議（ICPT）例年11月頃
• IEEEナノ材料：応用と特性国際会議（IEEE NAP）例年9月頃
• 電子情報通信学会 電子部品・材料研究会（CPM研究会）例年11月頃
• 半導体界面制御国際シンポジウム（ISCSI）例年11月頃
• 国際超伝導シンポジウム（ISS）2026年12月1日〜・富山
• 表面科学国際シンポジウム（ISSS）2027年11月14日〜・新潟
• 日本金属学会 秋期講演大会（金属学会秋期講演大会）2027年9月22日〜・東広島
• 日本金属学会 春期講演大会（金属学会春期講演大会）2027年3月8日〜・東京
• 日本液晶学会討論会（液晶学会討論会）例年9月頃
• 日本物理学会 年次大会（物理学会年次大会）2027年9月15日〜・名古屋
• 日本物理学会 春季大会（物理学会春季大会）2027年3月16日〜・オンライン開催
• 日本顕微鏡学会 学術講演会（顕微鏡学会学術講演会）例年5月頃
• 精密工学会 秋季大会学術講演会（精密工学会秋季大会）2027年9月15日〜・札幌
• 精密工学会 春季大会学術講演会（精密工学会春季大会）2027年3月17日〜・小金井（東京）
• プラズマ・核融合学会 年会（プラズマ・核融合学会年会）2026年12月8日〜・北九州
• 日本放射光学会 年会・放射光科学合同シンポジウム（放射光学会年会）2027年1月12日〜・佐賀
• 日本表面真空学会 学術講演会（表面真空学会学術講演会）例年9月頃
• KJF 有機エレクトロニクス・フォトニクス材料国際会議（KJF-ICOMEP）例年9月頃
• 分子エレクトロニクス・バイオエレクトロニクス国際会議（M&BE）例年6月頃
• MANA国際シンポジウム（MANA Symposium）例年10月頃
• 分子科学討論会（分子科学討論会）2027年9月16日〜・姫路
• 日本MRS 年次大会（日本MRS年次大会）2026年12月7日〜・横浜
• 日本磁気学会 学術講演会（日本磁気学会学術講演会）例年9月頃
• ナノ学会 大会（ナノ学会大会）例年5月頃
• 光化学討論会（光化学討論会）2027年9月7日〜・調布（東京）
• プラズマ・コンファレンス（プラズマ・コンファレンス）例年11月頃
• 基礎有機化学討論会（基礎有機化学討論会）例年9月頃
• 産研国際シンポジウム（産研国際シンポジウム）2027年1月6日〜・淡路（兵庫）
• 高分子学会 年次大会（高分子学会年次大会）2027年5月20日〜・オンライン開催
• 高分子討論会（高分子討論会）例年9月頃
• 電子材料研究討論会（電子材料研究討論会）2026年11月26日〜・名古屋

※ 会期・締切は2026/10/24に公式サイトで確認した情報です。変更されることがあるため、投稿・参加の前には公式サイトで最新の情報を確認してください。