ディスペンサメーカー5社
ディスペンサは、接着剤・アンダーフィル材・封止樹脂などの高粘度液体を、指定した位置へ定量吐出する装置です。後工程ではフリップチップ実装後のアンダーフィル注入、ダイアタッチ材の塗布、ダムアンドフィルによる封止に使われます。吐出量のばらつきはボイドや未充填として信頼性不良に直結するため、ジェット式・スクリュー式・エア式といった吐出方式を、粘度と要求精度に応じて選びます。塗布パターンをプログラムで制御でき、多品種対応の柔軟さも採用理由になります。
主要特徴
メーカー
5社の主要メーカー
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
- •半導体用CMPスラリー・研磨材料のグローバルトップ（CMC Materials統合後）
- •超純水・薬液フィルタで世界最高水準の汚染管理
精密ディスペンシング・封止・接合・検査装置の総合メーカー。半導体後工程のフラックス塗布、ポッティング、AOI検査システムを展開。
- •半導体封止・接着剤ディスペンシング装置のグローバルリーダー
- •ASYMTEK部門によるフラックスジェット・アンダーフィル技術
ディスペンサ（液体精密制御装置）の総合メーカー。微小量の吐出制御を強みに、ノズル・バルブから全自動塗布装置まで一貫して手掛ける。
- •超微小吐出の精密制御技術
- •ノズル単体から全自動装置まで揃う
ディスペンサのパイオニアとして、バルブ、卓上型ロボット、塗布装置、分注機まで展開する流体制御機器メーカー。
- •国内ディスペンサの草分け
- •バルブ・ノズルの品揃えが広い
空気圧機器と電動アクチュエータのメーカー。半導体製造装置向けには、クリーン仕様のシリンダやバルブ、薬液用の流体制御部品を供給する。
- •空気圧機器と電動アクチュエータの両輪
- •クリーンルーム仕様品のラインナップ
関連カテゴリ
薬液ポンプ（ベローズポンプ）は、フッ酸や硫酸過水といった強腐食性の薬液を、金属汚染とパーティクルを持ち込まずに送液するポンプです。
メーカー 2 社チラー・温調機チラー・温調機は、冷媒や熱媒液を循環させて装置各部の温度を一定に保つユニットです。
メーカー 3 社液・ガス用部品（継手・チューブ）液・ガス用部品は、装置内で薬液・純水・ガスを運ぶバルブ・継手・チューブ・フィルタといった配管部品の総称です。
メーカー 9 社Oリング・シールOリング・シールは、真空チャンバやガス配管の接合部を封止する弾性シール部品です。
メーカー 5 社オゾン水生成装置オゾン水生成装置は、高濃度のオゾンガスを超純水へ溶解させ、洗浄に使えるオゾン水を作る装置です。
メーカー 4 社