SEMVision H20とは
SEMVision H20 は、Applied Materials の電子ビーム欠陥レビューシステムです。最先端ノードでは光学式検査がプロセスばらつきのノイズと欠陥を見分けにくく、誤検出の多い密な欠陥マップになりがちで、電子ビームレビューに回す欠陥候補が 10〜100 倍に増えています。
H20 は冷陰極電界放出（CFE）の電子ビーム技術を使い、最小の埋もれた欠陥もサブナノメートルの分解能で観察します。第2世代の CFE 技術で、高い感度と分解能を保ちながら撮像速度を上げ、同じ情報量をより短い時間で集められます。
深層学習の AI 機能を統合し、ニューサンス欠陥やノイズから重要な欠陥を自動で抽出します。AI モデルは顧客自身の欠陥画像や設計シミュレーションで学習させられ、分類の精度を高めます。SEMVision は最も広く使われている電子ビームレビュー装置のファミリーです。
主な特長
- •第2世代の冷陰極電界放出（CFE）電子ビーム
- •サブナノメートル分解能で埋もれた欠陥を観察
- •深層学習 AI による重要欠陥の自動抽出
主な仕様
| 電子源 | 冷陰極電界放出（CFE・第2世代） |
|---|---|
| 特徴 | サブナノメートル分解能・従来比最大 3 倍の高速分類 |
| 主要用途 | 2nm ロジック・DRAM・3D NAND の埋もれ欠陥解析 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 日立ハイテクCR7300 | Applied MaterialsSEMVision™ H20 |
|---|---|---|
| 電子源 | 新設計電子光学系（高速電子線スキャン） | 冷陰極電界放出（CFE・第2世代） |
| 特徴 | VT-Scan（電気特性可視化）・AI 画像処理 | サブナノメートル分解能・従来比最大 3 倍の高速分類 |
| 主要用途 | 先端デバイスの欠陥レビュー・分類 | 2nm ロジック・DRAM・3D NAND の埋もれ欠陥解析 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •先端ノードの欠陥レビュー・分類
- •光学検査で検出した大量の欠陥候補の解析
掲載カテゴリ
SEMVision H20は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Applied Materials
世界最大の半導体製造装置サプライヤー。成膜、除去、改質、分析の包括的な製品ポートフォリオで、ウェーハ製造の全工程をサポート。
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出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06