最後更新:2026年10月23日ALD 設備

Striker的特點與規格

科林研發(Lam Research)・ALD 設備

沉積極薄且高度共形絕緣膜的科林研發(Lam Research)單片式 ALD 產品系列。以多站式架構兼顧生產力與低 CoO。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Striker 是科林研發的單片式 ALD 產品系列。在最新的記憶體、邏輯與影像感測器中,為了提升性能與微縮,極薄且高度共形的絕緣膜不可或缺。以間隙壁決定 CD 的多重圖形化,以及不容許任何微小缺陷的絕緣襯層,都是代表性例子。

藉由高速 ALD 循環以及「ALD 專用」的零組件・軟體・控制,在縮短處理時間的同時,取得業界頂尖的膜質與缺陷性能。可在寬廣的溫度範圍內依用途調整膜層的機械與電氣特性,並支援膜層摻雜與 in-situ 質量修整。

以具量產實績的多站式成膜架構,實現高生產力與低持有成本。產品包括 Striker 與 Striker FE。

主要規格

方式單片式 ALD(多站式)
對象膜層絕緣膜(支援摻雜・in-situ 質量修整)
系列組成Striker/Striker FE
主要用途圖形化用間隙壁・共形襯層・間隙填充

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

高速 ALD 循環與 ALD 專用設計的零組件・控制
可在寬廣溫度範圍內調整膜層特性
支援摻雜・in-situ 質量修整
多站式架構帶來高生產力

主要用途

  • 圖形化用間隙壁・遮罩
  • 共形襯層・間隙填充絕緣膜
  • 蝕刻停止層・氣密封裝・光學膜

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹):1996 年成立的台灣技術訓練中心
  • Lam Research Manufacturing(桃園市中壢區):2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
  • 台南據點(台南):支援南部客戶的辦公室與訓練教室

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資料來源

  1. 科林研發(Lam Research)官方產品頁面:Lam Research Striker Product Family