Striker 是科林研發的單片式 ALD 產品系列。在最新的記憶體、邏輯與影像感測器中,為了提升性能與微縮,極薄且高度共形的絕緣膜不可或缺。以間隙壁決定 CD 的多重圖形化,以及不容許任何微小缺陷的絕緣襯層,都是代表性例子。
藉由高速 ALD 循環以及「ALD 專用」的零組件・軟體・控制,在縮短處理時間的同時,取得業界頂尖的膜質與缺陷性能。可在寬廣的溫度範圍內依用途調整膜層的機械與電氣特性,並支援膜層摻雜與 in-situ 質量修整。
以具量產實績的多站式成膜架構,實現高生產力與低持有成本。產品包括 Striker 與 Striker FE。