最後更新:2026年10月23日TSV 形成設備

Synapse V/Synapse Z Plus的特點與規格

東京威力科創(TEL)・TSV 形成設備

東京威力科創(TEL)的鍵合機/解鍵合機,負責 TSV 製程的晶圓暫時鍵合(Synapse V)與解鍵合・清洗(Synapse Z Plus)。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Synapse V 與 Synapse Z Plus 是東京威力科創(TEL)針對 300mm 晶圓的鍵合/解鍵合設備。在使用 TSV 的 3 維構裝製程中,有效率地進行晶圓的暫時鍵合與解鍵合。

Synapse V 具備暫時鍵合 2 片晶圓所需的材料塗佈、乾燥、接合功能,1台即可完成使用各種黏著材料的一貫製程。透過獨家的對準機構與接合模組,提供業界最高水準的 TTV(厚度變異)與高接合精度。最多支援 3 層黏著劑。

Synapse Z Plus 具備晶圓解鍵合及元件・載體晶圓的清洗功能,1台即可完成 TSV 製程後的複雜步驟。即使是厚度 50µm 以下的極薄晶圓也能穩定傳送與處理。曾獲第 18 屆半導體年度大獎(Semiconductor of the Year)。

主要規格

適用晶圓尺寸300 mm
暫時鍵合精度黏著劑厚度 TTV 低於 5%(Synapse V)
特點支援 50µm 以下的薄晶圓(Synapse Z Plus)

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

以專用機台一貫處理暫時鍵合與解鍵合
黏著劑厚度 TTV 低於 5%
支援 50µm 以下的薄晶圓

主要用途

  • TSV 製程的暫時鍵合・解鍵合

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣東京威力科創(新竹):台灣子公司(1996 年成立)。設有訓練中心,並規劃擴建無塵室
  • 台南營運中心(台南):動工時預計 2024 年下半年完工,樓地板面積約 3.5 萬平方公尺,可容納近千名員工,負責零組件處理、技術服務與維修

所屬設備分類

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資料來源

  1. 東京威力科創(TEL)官方產品頁面:TEL Synapse Ulucus