Synapse V 與 Synapse Z Plus 是東京威力科創(TEL)針對 300mm 晶圓的鍵合/解鍵合設備。在使用 TSV 的 3 維構裝製程中,有效率地進行晶圓的暫時鍵合與解鍵合。
Synapse V 具備暫時鍵合 2 片晶圓所需的材料塗佈、乾燥、接合功能,1台即可完成使用各種黏著材料的一貫製程。透過獨家的對準機構與接合模組,提供業界最高水準的 TTV(厚度變異)與高接合精度。最多支援 3 層黏著劑。
Synapse Z Plus 具備晶圓解鍵合及元件・載體晶圓的清洗功能,1台即可完成 TSV 製程後的複雜步驟。即使是厚度 50µm 以下的極薄晶圓也能穩定傳送與處理。曾獲第 18 屆半導體年度大獎(Semiconductor of the Year)。