最後更新:2026年10月23日CVD 設備

Producer HARP的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・CVD 設備

以臭氧/TEOS 進行熱 CVD 的氧化膜。不使用電漿即可填充 STI・PMD,並藉由應變提高電晶體的驅動電流。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Producer HARP(High Aspect Ratio Process)是應用材料不使用電漿的熱 CVD 氧化膜設備。因應先進邏輯 FinFET 與記憶體中,STI 與 PMD 嚴苛的填充要求。

以專利的臭氧/TEOS 化學,沉積可產生應變的薄膜。藉此可在不使製程複雜化的情況下,大幅提升平面型邏輯電晶體的驅動電流與記憶體的保持時間。可與應力氮化膜、SiGe 磊晶等其他應變技術疊加效果。

由於不使用電漿,沒有電漿造成的損傷,元件可靠度優異。在 Producer 平台上同時處理最多 6 片。

主要規格

方式熱 CVD(臭氧/TEOS・非電漿)
主要用途STI・PMD 的填充
特點以應變誘發膜改善驅動電流・保持時間

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

非電漿的熱 CVD
臭氧/TEOS 專利化學
以應變誘發提升性能

主要用途

  • STI 填充
  • PMD 填充

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Producer HARP