Producer CVD 是應用材料的 CVD 平台。CVD 是從邏輯、DRAM、NAND,到 MEMS、光子學、IoT、功率元件等 MtM 領域,所有半導體都不可或缺的技術。
於 1998年推出,適用 150mm・200mm・300mm。據廠商資料,它支撐了 10 個世代的節點技術轉換,是史上最成功的平台中的 1 個。以 Twin Chamber 架構同時處理最多 6 片。
藉由陶瓷加熱器與零件,以及用於腔體清潔的遠端電漿源,將 CVD 膜的缺陷壓到最低。也能安全處理包含 SiC 晶圓在內的各種 MtM 基板。支援 TEOS 與矽烷系氧化膜・氮化膜等,涵蓋全面沉積、填充與共形沉積各種用途。