シールドルーム・防振建屋メーカー3社
シールドルーム・防振建屋は、電磁ノイズと振動という外乱から精密装置を守るための構造設備です。電子顕微鏡・EB描画装置・露光装置は、周囲の電力線や搬送設備が作るわずかな磁場でビームが曲がり、床の振動で像がぶれます。パーマロイや電磁鋼板で磁気シールドルームを構成して外部磁場を減衰させ、建屋側では独立基礎や防振溝で振動の伝達経路を断ちます。装置の性能仕様は一定の環境条件を前提としており、それを満たす場所を作ることも装置導入の一部になります。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
1964年創業の磁気シールド専門メーカー。パーマロイを主材料に、磁気シールドルーム・ケース、電子ビームや電子顕微鏡向けの磁気シールド部品、電流センサー用コアを製造し、磁界測定と磁性焼鈍も行う。
- •磁気シールドルームの製造から施工まで対応
- •パーマロイ加工と磁性焼鈍の自社技術
1984年創業の電磁シールドルームの総合メーカー。通信・電気・医療・工業向けに、メッシュ式やパネル密閉式のシールドルーム、シールドボックス、電波暗室、シールドドアを設計・施工し、性能測定とアフターメンテナンスまで行う。
- •設計・施工・測定・保守の一括体制
- •メッシュ式・パネル密閉式など用途別のシールドルーム
騒音対策・建築音響・電磁波シールドを事業とする専門工事会社。調査から設計・施工・確認測定までを一貫して行い、電磁波シールドではパネル式シールドルームや電磁シールドパネル、防振分野では防振床・防振遮音構造を手がける。
- •電磁波シールドと防振・防音を一社で施工
- •調査から確認測定までの一貫対応
関連カテゴリ
排ガス処理装置（アバトメントシステム）は、半導体製造プロセスで発生する有害副生成物・未反応ガスを大気放出前に無害化する環境・安全設備です。
メーカー 4 社薬液供給システム薬液供給システム（Chemical Delivery System）は、ウェハ洗浄・エッチング・CMP・フォトレジスト塗布など前工程の各装置に、高純度薬液（HF・硫酸・SC-1/SC-2洗浄液・現像液など）を精密に計量・混合して供給するファブインフラ設備です。
メーカー 5 社クリーンルーム部材クリーンルーム部材は、建屋そのものではなく、清浄度を実際に作り出して維持する部材のカテゴリです。
メーカー 8 社クリーンルーム設備クリーンルーム設備は、半導体製造において最大の歩留まり阻害要因であるパーティクル（微粒子）を徹底的に除去・制御するための空調・ろ過・気流制御システムです。
メーカー 3 社工場設備ファブ設備は、半導体工場の安定稼働を支える電力・超純水（UPW）・特殊ガス・薬液・排気・排水処理などの総合インフラ設備群です。
メーカー 5 社ガス供給・検知システムガス供給・検知システムは、ファブ全体へガスを届け、その純度と安全を守る設備のカテゴリです。
メーカー 7 社高純度配管・工事高純度配管・工事は、超純水・薬液・特殊ガスをファブ内の各装置へ届ける配管系統の施工技術です。
メーカー 5 社超純水製造システム超純水（UPW：Ultrapure Water）製造システムは、半導体ウェハの洗浄工程で使用する水を超高純度に精製するファブインフラ設備です。
メーカー 4 社廃水処理設備廃水処理設備は、洗浄・エッチング・CMPで生じた排水を、法規制値まで処理してから放流または再利用するための設備です。
メーカー 3 社