多結晶シリコン(ポリシリコン)メーカー3

多結晶シリコン(ポリシリコン)は、単結晶シリコンインゴットを引き上げるための原料となる高純度シリコンです。金属シリコンを塩化水素と反応させてトリクロロシランにし、蒸留で精製したうえで、シーメンス法により加熱したシリコン棒の表面へ析出させて作ります。半導体グレードでは11N(99.999999999%)級の純度が求められ、太陽電池グレードより不純物管理がはるかに厳しくなります。原料段階の金属汚染はウェハの結晶欠陥やライフタイム低下に直結します。

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主要特徴

単結晶インゴット(CZ法・FZ法)の出発原料となる高純度シリコン
トリクロロシランを精製しシーメンス法で析出させて製造する
半導体グレードは11N級で太陽電池グレードより格段に厳しい
原料の金属汚染がウェハの結晶欠陥やライフタイムに直結する

よくある質問

半導体グレードと太陽電池グレードのポリシリコンの違いは?
純度が違います。半導体グレードは11N級、太陽電池グレードは6N〜9N級が一般的で、半導体用はドナー・アクセプタ不純物や金属の管理基準が桁違いに厳しくなります。
シーメンス法とは何ですか?
精製したトリクロロシランと水素を反応炉に流し、1,000℃以上に通電加熱したシリコン棒の表面に高純度シリコンを析出させる製法です。半導体グレードの主流製法です。

メーカー

3社の主要メーカー

トクヤマ(Tokuyama)日本

多結晶シリコン(ポリシリコン)・電子工業用シリカ・高純度HClガスの日本有数のサプライヤー。半導体・太陽電池製造に不可欠なポリシリコンの世界上位メーカーであり、日本国内の一貫生産体制を持つ。

多結晶シリコン
半導体グレードPolysilicon太陽電池グレードPolysilicon
高純度化学品
HCl(超高純度)電子工業用シリカ
  • ポリシリコン生産量で世界上位(年産数千トン)
  • 電子工業用シリカで高い市場シェア
会社詳細
OCI Company(旧OCI Holdings)韓国

韓国最大の多結晶シリコン(ポリシリコン)メーカー。太陽電池向けポリシリコンで世界上位の生産量を誇り、半導体グレードポリシリコンも供給。マレーシア・韓国に生産拠点を持つ総合化学グループ。

多結晶シリコン
太陽電池グレードpolysilicon半導体グレードpolysilicon
化学品
過酸化水素(電子グレード)
  • 韓国国内最大のポリシリコンメーカー
  • 太陽電池・半導体両グレード対応
会社詳細
三菱マテリアル日本

非鉄金属・セメント・電子材料などを展開する総合素材メーカー。四日市工場で半導体用の高純度多結晶シリコンを製造するほか、電子材料や銅加工品も手がける。

シリコン
高純度多結晶シリコン
電子材料
電子材料製品銅加工品
  • 半導体用高純度多結晶シリコンの国内製造
  • 非鉄製錬で培った高純度化技術
会社詳細

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比較・違いを学ぶ

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