多結晶シリコン(ポリシリコン)メーカー3社
多結晶シリコン(ポリシリコン)は、単結晶シリコンインゴットを引き上げるための原料となる高純度シリコンです。金属シリコンを塩化水素と反応させてトリクロロシランにし、蒸留で精製したうえで、シーメンス法により加熱したシリコン棒の表面へ析出させて作ります。半導体グレードでは11N(99.999999999%)級の純度が求められ、太陽電池グレードより不純物管理がはるかに厳しくなります。原料段階の金属汚染はウェハの結晶欠陥やライフタイム低下に直結します。
主要特徴
よくある質問
半導体グレードと太陽電池グレードのポリシリコンの違いは?▾
シーメンス法とは何ですか?▾
メーカー
3社の主要メーカー
多結晶シリコン(ポリシリコン)・電子工業用シリカ・高純度HClガスの日本有数のサプライヤー。半導体・太陽電池製造に不可欠なポリシリコンの世界上位メーカーであり、日本国内の一貫生産体制を持つ。
- •ポリシリコン生産量で世界上位(年産数千トン)
- •電子工業用シリカで高い市場シェア
韓国最大の多結晶シリコン(ポリシリコン)メーカー。太陽電池向けポリシリコンで世界上位の生産量を誇り、半導体グレードポリシリコンも供給。マレーシア・韓国に生産拠点を持つ総合化学グループ。
- •韓国国内最大のポリシリコンメーカー
- •太陽電池・半導体両グレード対応
非鉄金属・セメント・電子材料などを展開する総合素材メーカー。四日市工場で半導体用の高純度多結晶シリコンを製造するほか、電子材料や銅加工品も手がける。
- •半導体用高純度多結晶シリコンの国内製造
- •非鉄製錬で培った高純度化技術
関連カテゴリ
化合物半導体ウェハは、GaAs・InP・GaN・サファイアなど複数元素からなる半導体基板の総称です。
メーカー 4 社エピタキシャルウェハエピタキシャルウェハは、単結晶基板の上に結晶方位を引き継いだ薄い単結晶層を成長させたウェハです。
メーカー 5 社再生ウェハ再生ウェハは、装置調整やモニタ用途で使ったウェハの表面膜を除去し、研磨し直して再び使えるようにしたウェハです。
メーカー 4 社SiCウェハSiCウェハは、シリコンより約3倍広いバンドギャップを持つ炭化ケイ素の単結晶基板です。
メーカー 5 社シリコンウェハシリコンウェハは、半導体デバイスの大半が作り込まれる単結晶シリコンの円板です。
メーカー 6 社SOIウェハSOIウェハは、シリコン活性層と支持基板の間に埋め込み酸化膜(BOX層)を挟んだ構造の基板です。
メーカー 3 社特殊基板(サファイア・LT/LN・ガラス)特殊基板は、シリコンや化合物半導体以外の材料で作るウェハの総称で、サファイア・タンタル酸リチウム(LT)・ニオブ酸リチウム(LN)・水晶・ガラスなどが含まれます。
メーカー 4 社