シリコンウェハメーカー6社
シリコンウェハは、半導体デバイスの大半が作り込まれる単結晶シリコンの円板です。多結晶シリコンを原料にCZ法で単結晶インゴットを引き上げ、スライス・ラッピング・エッチング・研磨を経て鏡面ウェハに仕上げます。直径300mmが量産の主流で、抵抗率・結晶方位・酸素濃度・COP密度・平坦度といった規格がデバイスの要求に応じて細かく指定されます。工程の最上流にありながら、ここでの結晶欠陥や汚染は後段のどの装置でも回復できないため、品質の起点として扱われます。
主要特徴
スペック比較
複数の製品が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 信越化学工業300mm 研磨ウェハ・アニールウェハ | SUMCO300mm 研磨ウェハ | GlobalWafers（環球晶圓）300mm／200mm シリコンウェハ |
|---|---|---|---|
| 口径 | 300 mm | 300 mm | 300／200／150 mm |
| 管理指標 | SFQR・ナノトポグラフィ・COP 密度 | 平坦度・パーティクル・金属不純物 | 平坦度・抵抗率均一性・欠陥密度 |
| 主要用途 | 先端ロジック・DRAM・NAND | ロジック・メモリの量産ライン | ロジック・メモリ・パワー・アナログ |
| 種類 | 研磨ウェハ（PW）・アニールウェハ（AW） | — | 研磨ウェハ・エピタキシャルウェハ |
| 結晶育成 | — | CZ 法（MCZ を含む） | CZ 法 |
1製品だけが掲載している項目（2件）
| 結晶方位 | (100)・(111) | — | — |
|---|---|---|---|
| 抵抗率 | — | 用途別に p 型／n 型を選択 | — |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
代表製品・スペック
300mm 研磨ウェハ・アニールウェハ
世界首位のシリコンウェハ。アニールウェハは表面近傍の COP を熱処理で潰し、デバイス形成層の欠陥を減らしたグレード。
| 口径 | 300 mm |
| 種類 | 研磨ウェハ（PW）・アニールウェハ（AW） |
| 結晶方位 | (100)・(111) |
| 管理指標 | SFQR・ナノトポグラフィ・COP 密度 |
| 主要用途 | 先端ロジック・DRAM・NAND |
300mm 研磨ウェハ
世界 2 位のシリコンウェハ。CZ 引き上げ条件と研磨・洗浄の作り込みで、先端ノードが要求する平坦度と清浄度を確保する。
| 口径 | 300 mm |
| 結晶育成 | CZ 法（MCZ を含む） |
| 抵抗率 | 用途別に p 型／n 型を選択 |
| 管理指標 | 平坦度・パーティクル・金属不純物 |
| 主要用途 | ロジック・メモリの量産ライン |
300mm／200mm シリコンウェハ
台湾に本社を置く世界 3 位級のウェハメーカー。300 mm から 150 mm まで口径の幅が広く、成熟ノード向けの供給力もある。
| 口径 | 300／200／150 mm |
| 種類 | 研磨ウェハ・エピタキシャルウェハ |
| 結晶育成 | CZ 法 |
| 管理指標 | 平坦度・抵抗率均一性・欠陥密度 |
| 主要用途 | ロジック・メモリ・パワー・アナログ |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
6社の主要メーカー
シリコンウェハ・フォトレジスト材料・塩化ビニルの世界的大手。半導体向けには300mmウェハとEUVレジスト材料でトップシェア。
- •シリコンウェハ（300mm）で世界シェア約30%
- •ArF/EUV向けフォトレジスト材料で業界首位級
シリコンウェハ専業の世界第2位メーカー。三菱マテリアル・住友金属鉱山のウェハ事業を統合し、300mmウェハを中心に世界の主要Fabに供給。
- •シリコンウェハ世界シェア約25%（第2位）
- •300mmエピウェハ・SOIウェハの先端品対応
台湾発の世界大手シリコンウェハメーカー。CZ法による300mmポリッシュド／エピタキシャルウェハを軸に、SOI・SiC・GaN基板まで幅広い基板を供給する。
- •シリコンウェハで世界トップ3の生産規模
- •300mmエピウェハ・SOI・化合物基板まで製品が広い
シリコンウェハの世界3位メーカー（Wacker Chemie傘下）。300mm・200mm・150mmウェハを日独シンガポールの製造拠点で生産。先端ロジック・メモリ向けの鏡面研磨ウェハ・エピタキシャルウェハで信越化学・SUMCOと市場を三分。
- •シリコンウェハで世界3位（信越・SUMCOに次ぐ）
- •300mm先端ウェハの高品質・高フラットネス
SKグループ傘下の韓国シリコンウェハメーカー。300mmポリッシュド／エピタキシャルウェハを主力とし、米国事業の買収によりSiCウェハにも参入している。
- •300mmウェハで世界上位のシェア
- •SKハイニックスを含む大口顧客への供給基盤
多結晶シリコン（ポリシリコン）・電子工業用シリカ・高純度HClガスの日本有数のサプライヤー。半導体・太陽電池製造に不可欠なポリシリコンの世界上位メーカーであり、日本国内の一貫生産体制を持つ。
- •ポリシリコン生産量で世界上位（年産数千トン）
- •電子工業用シリカで高い市場シェア
関連カテゴリ
化合物半導体ウェハは、GaAs・InP・GaN・サファイアなど複数元素からなる半導体基板の総称です。
メーカー 4 社エピタキシャルウェハエピタキシャルウェハは、単結晶基板の上に結晶方位を引き継いだ薄い単結晶層を成長させたウェハです。
メーカー 5 社多結晶シリコン（ポリシリコン）多結晶シリコン（ポリシリコン）は、単結晶シリコンインゴットを引き上げるための原料となる高純度シリコンです。
メーカー 3 社再生ウェハ再生ウェハは、装置調整やモニタ用途で使ったウェハの表面膜を除去し、研磨し直して再び使えるようにしたウェハです。
メーカー 4 社SiCウェハSiCウェハは、シリコンより約3倍広いバンドギャップを持つ炭化ケイ素の単結晶基板です。
メーカー 5 社SOIウェハSOIウェハは、シリコン活性層と支持基板の間に埋め込み酸化膜（BOX層）を挟んだ構造の基板です。
メーカー 3 社特殊基板（サファイア・LT/LN・ガラス）特殊基板は、シリコンや化合物半導体以外の材料で作るウェハの総称で、サファイア・タンタル酸リチウム（LT）・ニオブ酸リチウム（LN）・水晶・ガラスなどが含まれます。
メーカー 4 社