LS9300AD

パターンなしウェーハの表面・裏面の異物と欠陥を検査する日立ハイテクのウェーハ表面検査装置。2024年発売。

LS9300ADとは

LS9300AD は、日立ハイテクが 2024年3月14日に発売したウェーハ表面検査装置です。パターンなしウェーハの表面と裏面の異物・欠陥を検査し、ウェーハの出荷・受け入れ時の品質保証や、デバイス製造工程の異物管理に使われます。

デバイスの微細化と複雑化に伴い、管理すべき欠陥・異物は小さくなり、高さの低い（低アスペクトな）微小欠陥まで含めた管理が求められるようになりました。一方で、生産量の増加に合わせて検査コストを抑える必要もあります。

LS9300AD は従来の暗視野レーザー散乱検査に加え、新たに DIC（微分干渉）検査機能を搭載しました。DIC 光学系がウェーハ表面の凹凸を高コントラストの画像にするため、散乱光では捉えにくい低アスペクトな微小欠陥を検出できます。高感度・高スループットの両面検査で、検査コストの削減と歩留まり向上に貢献するとしています。

主な特長

•暗視野レーザー散乱検査＋DIC（微分干渉）検査
•低アスペクトな微小欠陥の検出
•表面・裏面の両面検査を高感度・高スループットで

主な仕様

検査対象	パターンなしウェーハ（表面・裏面）
検出方式	暗視野レーザー散乱＋DIC（微分干渉）検査
特徴	エッジグリップ・回転ステージによる両面検査
主要用途	ウェーハメーカーの出荷検査

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLASurfscan® SP7XP	日立ハイテクLS9300AD
検査対象	パターンなしウェーハ（ベア・膜付き・レジスト）	パターンなしウェーハ（表面・裏面）
検出方式	DUV レーザー（位相差チャネル・垂直照明）	暗視野レーザー散乱＋DIC（微分干渉）検査
主要用途	5 nm 以下ロジック・先端メモリの装置／工程モニタ	ウェーハメーカーの出荷検査