SICA108

SiC 特有の欠陥に特化し、表面検査とフォトルミネッセンス検査を同時に高速で行う SiC ウェーハ欠陥検査・レビュー装置。

SICA108とは

SICA108 は、レーザーテックの SiC ウェーハ欠陥検査・レビュー装置です。2024年9月に発表されました。SiC 特有の欠陥に特化し、表面検査とフォトルミネッセンス（PL）の同時検査を高速化しました。

表面欠陥と同時に、ウェーハ内部の基底面内転位（BPD）や積層欠陥（SF）などの結晶欠陥を高速・高感度に検出します。欠陥の高解像度のレビュー画像を取りながら、高精度な自動欠陥分類（ADC）で各種の欠陥を詳しく分類します。

無人搬送車（AGV）や天井走行式無人搬送車（OHT）などの自動化にも対応します。SiC ウェーハやエピウェーハの出荷・受け入れ検査、エピ成長や研磨のプロセス管理、SiC デバイスの製造プロセス管理に使われます。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLACandela® 8520	KLACandela® 8720	KLACandela® 8420	レーザーテックSICA88	レーザーテックSICA108	レーザーテックGALOIS211	Onto InnovationCelero™ PL
方式	—	2 入射角の散乱＋フォトルミネッセンス	OSA（光学表面分析）・多チャネル検出	—	表面検査＋フォトルミネッセンス（PL）同時検査	コンフォーカル光学系・微分干渉光学系・波長選択	レーザー位相検出＋イメージング（多光源・多センサー）
主要用途	パワーデバイス用基板の品質管理	RF・パワー・高輝度 LED 向け GaN	—	SiC ウェーハの出荷・受入検査、エピ工程管理	—	—	—
検査対象	SiC・GaN 基板／エピウェーハ（パターンなし）	—	—	SiC ウェーハ・エピウェーハ	—	—	—
検出欠陥	表面欠陥・エピ欠陥	—	—	エピ欠陥・スクラッチ・BPD・積層欠陥（自動分類）	—	—	—
関連機種	Candela 8720（LED・化合物半導体向け）	—	—	SICA108（検査光学系を刷新した後継機）	—	—	—
検出対象	—	クラック・転位・ヒロック・マイクロピット・スリップライン・エピ欠陥	—	—	表面欠陥・基底面内転位（BPD）・積層欠陥（SF）	—	—
対象	—	—	GaAs・InP・LT・LN・ガラス・サファイアなど	—	—	—	SiC・GaN などの化合物半導体ウェーハ
対応ウェハ径	—	—	—	—	—	最大 Φ8 インチ	100〜300 mm

1機種だけが掲載している項目（3件）