SICA88

表面欠陥と同時に、エピ膜内部の基底面内転位（BPD）や積層欠陥（SF）を検出する SiC ウェーハ欠陥検査／レビュー装置。

SICA88とは

SICA88 は、レーザーテックの SiC ウェーハ欠陥検査・レビュー装置です。φ6 インチの SiC ウェーハ・エピウェーハを対象に、表面検査とフォトルミネッセンス（PL）検査を行います。

表面欠陥に加え、基底面転位（BPD）、積層欠陥（SF）などの結晶欠陥を高感度に検出します。高解像度のレビュー画像を取得し、自動欠陥分類（ADC）で詳細に分類できるため、顕微鏡での再観察が要りません。全面検査のスループットは毎時 10 枚です。

SiC パワーデバイスでは結晶欠陥が素子の信頼性を左右するため、ウェーハの品質管理が重要です。SICA88 は SiC ウェーハ・エピウェーハの出荷・受入検査、エピタキシャル成長や研磨のプロセス管理、デバイス製造のプロセス管理に使われます。電子デバイス産業新聞の「半導体・オブ・ザ・イヤー2016」で優秀賞を受けています。

主な特長

•表面検査＋フォトルミネッセンス（PL）検査
•BPD・SF などの結晶欠陥を高感度に検出
•高解像度レビュー画像と自動欠陥分類（ADC）
•全面検査で毎時 10 枚

主な仕様

検査対象	SiC ウェーハ・エピウェーハ
検出欠陥	エピ欠陥・スクラッチ・BPD・積層欠陥（自動分類）
関連機種	SICA108（検査光学系を刷新した後継機）
主要用途	SiC ウェーハの出荷・受入検査、エピ工程管理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLACandela® 8520	レーザーテックSICA88
検査対象	SiC・GaN 基板／エピウェーハ（パターンなし）	SiC ウェーハ・エピウェーハ
検出欠陥	表面欠陥・エピ欠陥	エピ欠陥・スクラッチ・BPD・積層欠陥（自動分類）
関連機種	Candela 8720（LED・化合物半導体向け）	SICA108（検査光学系を刷新した後継機）
主要用途	パワーデバイス用基板の品質管理	SiC ウェーハの出荷・受入検査、エピ工程管理