HEPA/ULPA 空氣濾網是什麼
HEPA/ULPA 空氣濾網是捕集空氣中微粒、建立無塵室潔淨度的核心構件。HEPA 的性能規定為對 0.3μm 微粒的捕集率達 99.97% 以上,ULPA 則為對 0.1~0.15μm 微粒達 99.9995% 以上。微粒並非以網目篩除,而是透過撞擊纖維、攔截、擴散等多種機制捕捉,因此存在最難捕集的粒徑(MPPS)。隨著使用壓力損失會上升,以壓差監控管理更換時機是運用的基本。
重點整理
HEPA 對 0.3μm 微粒的捕集率達 99.97% 以上,ULPA 效率更高
以撞擊・攔截・擴散的複合機制捕捉微粒
最難捕集的粒徑(MPPS)是性能評估的基準
以壓差監控壓力損失的上升,管理更換時機
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